Алиханов рассказал, когда планируется завершить испытания литографа на 130 нм

СИРИУС /федеральная территория/, 28 сентября. /ТАСС/. Приемочные испытания литографа на 130 нанометров начнутся осенью 2026 года, а завершить их планируется до конца года. Об этом журналистам сообщил глава Минпромторга РФ Антон Алиханов на полях форума "Микроэлектроника".

"Этой осенью стартуют приемочные испытания самого литографа, завершить их планируем до конца года", - сказал он.

Министр отметил, что разработка литографа уверенно движется к завершению. Так, уже испытаны российские эксимерные лазеры - источник излучения для таких установок. При этом Алиханов подчеркнул, что кроме России, лазеры такого класса производят только две страны в мире - США и Япония.

"Вместе с тем уже подготовлено техническое задание на сканирующий фотолитограф с разрешением 90 нм, сейчас идет отбор исполнителя", - добавил он.