РФ и Белоруссия изготовили опытный образец литографа на 130 нм

СИРИУС /федеральная территория/, 28 сентября. /ТАСС/. Россия и Белоруссия изготовили опытный образец литографа на 130 нанометров, сообщил первый вице-премьер РФ Денис Мантуров на пленарной сессии форума "Микроэлектроника".

"Совместно с нашими белорусскими друзьями уже изготовлен опытный образец установки на 130 нанометров, причем для нее разработан собственный эксимерный лазер, что позволило России войти в узкий круг стран, владеющих этой технологией", - сказал он.

Развивается и электронно-лучевая литография, которая применяется в том числе для изготовления фотошаблонов. Для их выпуска в Зеленограде завершается создание научно-технологического центра. Как сообщил Мантуров, этот проект предусматривает поэтапное освоение топологических норм вплоть до 28 нанометровых стадий производства микросхем.

"Параллельно наращиваются компетенции в области материалов и химических продуктов. За последние три года здесь освоено производство порядка 60 критически важных позиций, еще примерно столько же наименований должны выйти в рынок в 2029 году", - добавил первый вице-премьер.